Die besondere Stärke des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS liegt in der Entwicklung von Smart Systems - sogenannten intelligenten Systemen für verschiedenartige Anwendungen. Die Systeme verbinden Elektronikkomponenten, Mikro- und Nanosensoren und -aktoren mit Schnittstellen zur Kommunikation. Fraunhofer ENAS entwickelt Einzelkomponenten, die Technologien für deren Fertigung aber auch Systemkonzepte und Systemintegrationstechnologien und überführt sie in die praktische Nutzung. Fraunhofer ENAS begleitet Kundenprojekte von der Idee über den Entwurf, die Technologieentwicklung oder Umsetzung anhand bestehender Technologien bis hin zum getesteten Prototyp.
Die Abteilung Nano Device Technologies entwickelt und erforscht neuartige Prozesse, Technologien und Bauelemente zur Herstellung von Mikro- und Nanosystemen. Im Fokus der Abteilung liegen Mikroelektromechanische Systeme, Festkörperbauelemente und Technologien zur Heterointegration von komplexen Systemen wie beispielsweise lnertialsensoren, Drucksensoren, Ultraschallwandler, Sensoren auf Basis von Kohlenstoffnanostrukturen, Memristoren, spintronische Bauelemente und biotechnologische Systeme. In einem Klasse 4 Reinraum (ISO 14644-1) steht eine vollständige Prozesslinie für die Maskenherstellung und die Lithografie zur Verfügung. In weiteren Klasse 5 Reinräumen sind Trockenätzanlagen und das notwendige Equipment für Nassätzprozesse vorhanden. Eine ganz wesentliche Kompetenz ist die Herstellung und Integration von funktionalen Nanostrukturen, unter anderem auf Basis der Elektronenstrahllithografie. Für diese Themen besteht eine enge Zusammenarbeit mit der Professur Smart Systems Integration und dem Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz.
Was Sie bei uns tun
Ihre Arbeit findet größtenteils im Reinraum statt. Hier stehen Ihnen verschiedenste moderne Geräte und Anlagen zur Verfügung, die in der Lithografie Anwendung finden. Ihr wesentlicher Betätigungspunkt ist die Weiterentwicklung des Themenfeldes Nanolithographie sowie von Technologien im Bereich der Elektronenstrahl-Lithografie. Sie koordinieren die Überwachung verschiedener Prozessabläufe und analysieren und optimieren diese vor dem Hintergrund der gestellten wissenschaftlichen Aufgabenstellung.
Ihr Aufgabengebiet gestaltet sich vielfältig und abwechslungsreich, der Fokus liegt auf folgenden Punkten
- Leitung und Koordination des Themenfeldes Nanolithographie als Themenfeldleiter*in
- Weiterentwicklung und Umsetzung von Strategien und Maßnahmen zur Förderung des Themenfeldes
- Verantwortung für die Planung, Organisation und Durchführung von Projekten im Themenfeld
- Verantwortliche* Expert*in für Anlagen- und Prozesse für Versuchsreihen an den Anlagen und Prozessen der Elektronenstrahl-Lithographie: Erstellung der Versuchsanordnung, Koordination und wissenschaftliche Analyse der erzielten Ergebnisse im Hinblick auf die zu untersuchende Fragestellung
- Wissenschaftliche Koordination der Versuche an verschiedenen Geräten und Anlagen für die Lithografie: Belacker/Entwickler, Kontroll- und Messtechnik (Lichtmikroskopie, Profilometer, Ellipsometer, Rasterelektronenmikroskop, CD-SEM)
- Erstellung von Messkonzepten und Datenbanken zur Charakterisierung von hergestellten Strukturen
- Durchführung von Wartungs- und Instandhaltungsarbeiten
- Zusammenarbeit mit Projektpartnern und Kunden
- Projektakquise und Einbindung der Elektronenstrahl-Lithographie im Institutskontext
- Betreuung von Studierenden und Veröffentlichung von Projektergebnissen
Was Sie mitbringen
Für das Themenfeld der Elektronenstrahl-Lithographie suchen wir eine*n motivierte*n wissenschaftliche*n Mitarbeiter*in mit fundierten Kenntnissen der theoretischen Grundlagen halbleitertechnologischer Lithographie- und-Strukturierungsprozesse und erfordert zudem:
- ein überdurchschnittlich abgeschlossenes wissenschaftliches Hochschulstudium. Absolvent*innen der Studiengänge Mikro-/Nanotechnologie oder der Mikrotechnik sind uns ebenso willkommen wie Elektrotechniker*innen, Physiker*innen oder Absolvent*innen anderer vergleichbarer Studiengänge, eine Promotion ist erwünscht
- praktische Erfahrungen bei der Bearbeitung mikroelektronischer und/oder mikromechanischer Prozessen und Technologien sowie mit physikalischer Messtechnik
- hohes persönliches Engagement für unsere spannenden Themen, eine selbstständige Arbeitsweise, Kommunikations- und Teamfähigkeit sowie die Bereitschaft zu Dienstreisen
- sehr gute Deutsch- und Englischkenntnisse in Wort und Schrift sowie die Fähigkeit, Ergebnisse gegenüber unseren Kunden und Forschungspartnern selbstständig zu präsentieren
Was Sie erwarten können
- Sie arbeiten in Projekten mit vielen Gestaltungsmöglichkeiten um eigene Ideen einzubringen
- wir bieten ein attraktives Arbeitsumfeld in einer hochinnovativen Branche und in einem internationalen Umfeld
- Sie arbeiten in einem engagierten und motivierten Team, in dem sich erfahrene Expert*innen sowie hochmotivierte Nachwuchskräfte unterstützen und verstärken
- Urlaubsanspruch von 30 Tagen, Jahressonderzahlung nach TVöD Bund sowie betriebliche Altersvorsorge (VBL)
- regelmäßige, auf Ihre individuellen Bedürfnisse angepasste Weiterbildungen und eine bestmögliche Ausstattung mit Arbeitsmitteln
- optimale Work-Life-Balance durch flexible Arbeitszeiten sowie unterschiedliche Unterstützungsangebote (z.b. Mobiles Arbeiten) zur Vereinbarkeit von Privatleben und Beruf:
Wir wertschätzen und fördern die Vielfalt der Kompetenzen unserer Mitarbeitenden und begrüßen daher alle Bewerbungen – unabhängig von Alter, Geschlecht, Nationalität, ethnischer und sozialer Herkunft, Religion, Weltanschauung, Behinderung sowie sexueller Orientierung und Identität. Schwerbehinderte Menschen werden bei gleicher Eignung bevorzugt eingestellt.
